特許
J-GLOBAL ID：200903061598222708
酸化物被膜形成用塗布液および酸化物被膜の製造法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
若林 邦彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-330459
公開番号（公開出願番号）：特開平6-172709
出願日： 1992年12月10日
公開日（公表日）： 1994年06月21日
要約：
【要約】【目的】 熱的に安定で成膜性に優れ、得られる酸化物被膜にクラックの発生のない酸化物被膜形成用塗布液を提供する。【構成】 (A)アルコキシシラン化合物またはアセトキシシラン化合物、(B)金属アルコキシド化合物または金属キレート化合物および(C)Liアルコキシド化合物またはLiキレート化合物を加水分解、重縮合させて得られる反応物を含む酸化物被膜形成用塗布液およびこれを用いた酸化物被膜の製造法。
請求項（抜粋）：
(A)一般式(I)【化1】(式中Rは、炭素数1〜4のアルキル基、mは0〜2の整数を意味する)で表されるアルコキシシラン化合物または一般式(II)【化2】(式中Rは、炭素数1〜4のアルキル基、mは0〜2の整数を意味する)で表されるアセトキシシラン化合物と、(B)一般式(III)【化3】(式中Mは原子価2の金属原子、R′は炭素数1〜4のアルキル基を意味する)で表される金属アルコキシド化合物、一般式(IV)【化4】(式中Mは原子価2の金属原子、R′は炭素数1〜4のアルキル基、R′′′は炭素数1〜4のアルキレン基を意味する)で表される金属アルコキシド化合物または一般式(V)【化5】(式中Mは原子価2の金属原子、R′′は炭素数5〜10のキレートを意味する)で表される金属キレート化合物および(C)一般式(VI)【化6】(式中R′は、炭素数1〜4のアルキル基を意味する)で表されるLiアルコキシド化合物、一般式(VII)【化7】(式中R′は、炭素数1〜4のアルキル基、R′′′は炭素数1〜4のアルキレン基を意味する)で表されるLiアルコキシド化合物または一般式(VIII)【化8】(式中R′′は炭素数5〜10のキレートを意味する)で表されるLiキレート化合物とを触媒および有機溶媒の存在下で加水分解、重縮合させて得られる反応物を含んでなる酸化物被膜形成用塗布液。
IPC (2件)：
C09D183/06 PMS
, H01L 21/316
