ガラス板用スクラブ洗浄装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：中村恒久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-136332
公開番号（公開出願番号）：特開平8-323315
出願日： 1995年06月02日
公開日（公表日）： 1996年12月10日
要約：

【要約】【目的】スポンジブラシとガラス板との接触圧力を常に一定にすることにより、安定した洗浄を行う。【構成】スポンジブラシ12をガラス板6方向に移動させる主駆動モータ33を設ける。主駆動モータ33の負荷電流からスポンジブラシ12とガラス板6との接触を検知する検知器31aを設ける。スポンジブラシ12がガラス板6に接触後スポンジブラシ12を設定距離だけ移動させる副駆動モータ34を設ける。

請求項（抜粋）：

スポンジブラシをガラス板の表面に押し当てながら洗浄するスクラブ洗浄装置において、前記スポンジブラシと前記ガラス板との接触圧力を一定とする押圧手段を設けたことを特徴とするスクラブ洗浄装置。

IPC (2件)：

B08B 11/04 , H01L 21/304 341

FI (2件)：

B08B 11/04 , H01L 21/304 341 B

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