特許

J-GLOBAL ID：200903061599342715

真空ポンプの制御装置

発明者： 野路 伸治 ,  木戸 功一
出願人/特許権者： 株式会社荏原製作所
代理人 (1件)： 渡邉 勇 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-144746
公開番号（公開出願番号）：特開平10-054369
出願日： 1997年05月19日
公開日（公表日）： 1998年02月24日
要約：

【要約】【課題】 複数台の真空ポンプを迅速に制御することができるとともに、ネットワークコントロールユニットからある真空ポンプ用コントローラとの間に断線やコントローラの故障、ノイズの混入があったとしても他の真空ポンプを正常に制御することができる真空ポンプの制御装置を提供する。【解決手段】 複数台の真空ポンプの運転を制御するための真空ポンプの制御装置において、ホストコンピュータ4と、複数台の真空ポンプの各々に接続された複数台の真空ポンプ用コントローラ2と、ホストコンピュータ4と複数台の真空ポンプ用コントローラ2とを中継するネットワークコントロールユニット3とを備え、ネットワークコントロールユニット3と複数台の真空ポンプ用コントローラ2とは、真空ポンプ用コントローラ2の台数に対応した数の通信線102によって並列的に接続されている。

請求項（抜粋）：

複数台の真空ポンプの運転を制御するための真空ポンプの制御装置において、ホストコンピュータと、複数台の真空ポンプの各々に接続された複数台の真空ポンプ用コントローラと、前記ホストコンピュータと複数台の真空ポンプ用コントローラとを中継するネットワークコントロールユニットとを備え、該ネットワークコントロールユニットと複数台の真空ポンプ用コントローラとは、真空ポンプ用コントローラの台数に対応した数の通信線によって並列的に接続されていることを特徴とする真空ポンプの制御装置。

IPC (3件)：

F04B 49/06 341 ,  F04B 49/06 ,  F04B 37/08

FI (3件)：

F04B 49/06 341 J ,  F04B 49/06 341 L ,  F04B 37/08

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 生産管理システム
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-108891   出願人：アルバック・クライオ株式会社
• 特開昭59-068581
  
• 特開昭63-057881