感光層の露光方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：倉内義朗
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-355281
公開番号（公開出願番号）：特開2000-181074
出願日： 1998年12月15日
公開日（公表日）： 2000年06月30日
要約：

【要約】【課題】ビルドアップ多層配線板に設けられる感光性絶縁層に、ピンホールを形成することなく、フォトバイアホールを形成する。【解決手段】基板上に設けられた感光性絶縁層12に対して、フォトバイアホールに対応した原画像13aが形成された第1フォトフィルム13を介して、紫外線を露光する。その後、感光性絶縁層12に対して、フォトバイアホールに対応した原画像14aが形成された第2フォトフィルム14を介して、紫外線を露光する。

請求項（抜粋）：

所定の形状の画像を感光層に露光する方法であって、感光層に形成される露光画像に対応した原画像が所定の位置にそれぞれ形成された第1フォトマスクおよび第2フォトマスクを準備して、第1フォトマスクの原画像を感光層に露光した後に、第2フォトマスクの原画像を感光層に露光することを特徴とする感光層の露光方法。

IPC (3件)：

G03F 7/20 501 , H01L 21/027 , H05K 3/46

FI (4件)：

G03F 7/20 501 , H05K 3/46 N , H05K 3/46 B , H01L 21/30 514 A

Fターム (25件)：

2H097AA12 , 2H097BA04 , 2H097CA12 , 2H097FA02 , 2H097FA06 , 2H097GA45 , 2H097GB02 , 2H097LA09 , 2H097LA10 , 5E346AA12 , 5E346AA43 , 5E346BB01 , 5E346CC08 , 5E346DD01 , 5E346DD24 , 5E346EE31 , 5E346EE39 , 5E346FF07 , 5E346GG15 , 5E346GG17 , 5E346HH08 , 5F046AA04 , 5F046AA11 , 5F046BA02 , 5F046BA03

引用特許：

審査官引用 (30件)

特開昭54-031282
特開昭54-031282
レジストパターンの形成方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-346576 出願人：沖電気工業株式会社

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