特許

J-GLOBAL ID：200903061600796270

研磨布及びその研磨布の研磨機定盤への脱着方法

発明者： 石井 秀幸 ,  繁田 好胤
出願人/特許権者： ニッタ株式会社
代理人 (1件)： 山本 秀策
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-101379
公開番号（公開出願番号）：特開平8-293477
出願日： 1995年04月25日
公開日（公表日）： 1996年11月05日
要約：

【要約】【目的】 研磨布の交換時において、定盤および研磨布の接着剤層を冷却するだけで、容易に定盤面から剥離することができる研磨布とその研磨布の定盤からの脱着方法を提供すること。【構成】 研磨布は、研磨布基体1と、研磨布基体1の片面に積層された感圧接着剤層2と、感圧接着剤層2に離型可能に貼り付けられた離型シート3と、を有する。その感圧接着剤層2を形成する接着剤組成物に含有されるポリマーは、15°Cより狭い温度範囲にわたって起こる第1次溶融転移を有する。

請求項（抜粋）：

研磨布基体と、該研磨布基体の片面に積層された感圧接着剤層と、該感圧接着剤層に離型可能に貼り付けられた離型シートと、を有する研磨布において、該感圧接着剤層を形成する接着剤組成物に含有されるポリマーが、15°Cより狭い温度範囲にわたって起こる第1次溶融転移を有することを特徴とする研磨布。

IPC (5件)：

H01L 21/304 321 ,  H01L 21/304 ,  B24B 37/00 ,  B32B 7/12 ,  B32B 27/12

FI (6件)：

H01L 21/304 321 E ,  H01L 21/304 321 M ,  H01L 21/304 321 Z ,  B24B 37/00 C ,  B32B 7/12 ,  B32B 27/12

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 特表平4-507425