特許

J-GLOBAL ID：200903061606832820

ガスレーザ装置

発明者： 藤原 重徳 ,  小林 伸次 ,  寺井 清寿 ,  村田 隆昭 ,  玉川 徹
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 佐藤 強
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-219777
公開番号（公開出願番号）：特開平8-083946
出願日： 1994年09月14日
公開日（公表日）： 1996年03月26日
要約：

【要約】【目的】 複数の放電電極対を設けながら、全体形状の小形化を図る。【構成】 チャンバー11内には3個の放電電極12,13,14が積層状に積み重ねられることにより2組の放電電極対15,16が形成されている。この場合、各放電電極12,13,14間に放電空間部17が設定されている。これにより、放電電極対15,16全体の小形化を図ることができる。また、放電電極12,13及び14,13に高周波電源が夫々接続されており、放電電極13は高周波電源が共通接続されている。この場合、放電電極12,14と接続された高周波電源の端子はアース電位が印加されていると共にチャンバー11もアース電位が印加されているので、放電電極12,14とチャンバー11間の隙間は最小に設定することにより全体形状の小形化を図ることができる。

請求項（抜粋）：

金属製の筐体内に配設された平行平板状の放電電極を所定間隙存して対向することにより放電電極対を形成し、その放電電極対に放電電力を印加することにより上記放電電極間に形成された放電空間部に位置するレーザガスを励起してレーザ光を出力するガスレーザ装置において、複数の放電電極を階層状に積み重ねることにより互いに隣接する放電電極同士により放電電極対を形成すると共に、前記放電電極対を形成する放電電極間の空隙を放電空間部に設定したことを特徴とするガスレーザ装置。