X線分析方法および装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：杉本修司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-229054
公開番号（公開出願番号）：特開平10-123071
出願日： 1997年08月26日
公開日（公表日）： 1998年05月15日
要約：

【要約】【課題】分析対象試料からの蛍光X線の測定強度に基づいて、分析対象試料における各成分の含有率等を求めるX線分析方法および装置において、より正確な重なり補正のできるX線分析方法および装置を提供する。【解決手段】いわゆる検量線法において、測定されるべき蛍光X線6の波長帯域と少なくとも一部が重複する波長帯域を有する蛍光X線を妨害線とし、それら妨害線を発生する各成分の含有率に関する2次式を用いて、検量線を補正する。

請求項（抜粋）：

組成が既知で相異なる複数の標準試料に1次X線を照射して、標準試料中の各成分から発生する蛍光X線の強度を測定し、それら測定強度と標準試料における各成分の含有率との相関関係を、各成分ごとに検量線としてあらかじめ求めておき、分析対象試料に1次X線を照射して、分析対象試料中の各成分から発生する蛍光X線の強度を測定し、各測定強度に前記検量線を適用して、分析対象試料における各成分の含有率を求めるX線分析方法において、測定されるべき蛍光X線の波長帯域と少なくとも一部が重複する波長帯域を有する蛍光X線を妨害線とし、それら妨害線を発生する各成分の含有率に関する2次式を用いて、前記検量線を補正することを特徴とするX線分析方法。

引用特許：

審査官引用 (3件)

特開平4-204362
特開昭60-049251
蛍光X線分析方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-262165 出願人：株式会社島津製作所

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