特許

J-GLOBAL ID：200903061622829872

窒化珪素焼結体の製造方法

発明者： 高城 東一 ,  永田 剛春 ,  宮井 明
出願人/特許権者： 電気化学工業株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-319367
公開番号（公開出願番号）：特開平9-157030
出願日： 1995年12月07日
公開日（公表日）： 1997年06月17日
要約：

【要約】【課題】 窒化珪素本来の高強度特性に加えて熱伝導率が高く放熱性に優れており、特に回路基板の作製に好適な窒化珪素焼結体の製造方法を提供すること。【解決手段】 窒化珪素粉末、焼結助剤及び有機バインダーを含む成形体を脱脂した後焼結してAl成分を金属換算で0.25重量%以下、Fe成分を金属換算で0.3重量%以下の窒化珪素焼結体を製造する方法において、上記窒化珪素粉末がβ相含有量15〜40重量%のものであり、また上記焼結助剤がMg及び/又はCaの化合物を含むものであって、該化合物の割合が上記窒化珪素粉末と該化合物の酸化物換算との合計100重量部あたり0.5〜7.0重量部であることを特徴とする窒化珪素焼結体の製造方法。

請求項（抜粋）：

窒化珪素粉末、焼結助剤及び有機バインダーを含む成形体を脱脂した後焼結してAl成分を金属換算で0.25重量%以下、Fe成分を金属換算で0.3重量%以下の窒化珪素焼結体を製造する方法において、上記窒化珪素粉末がβ相含有量15〜40重量%のものであり、また上記焼結助剤がMg及び/又はCaの化合物を含むものであって、該化合物の割合が上記窒化珪素粉末と該化合物の酸化物換算との合計100重量部あたり0.5〜7.0重量部であることを特徴とする窒化珪素焼結体の製造方法。

FI (2件)：

C04B 35/58 102 A ,  C04B 35/58 102 C

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平4-212441
  
• 特開平3-174364
  
• 特開平1-145380