特許
J-GLOBAL ID：200903061626179236
磁性多層薄膜およびその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
服部 雅紀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-066442
公開番号（公開出願番号）：特開平9-260179
出願日： 1996年03月22日
公開日（公表日）： 1997年10月03日
要約：
【要約】【課題】 経済的に、小型軽量で柔軟性に優れたノイズフィルタ用の磁性多層膜とその製造法を提供する。【解決手段】 不活性ガス雰囲気とした磁性膜形成室2内でスパッタ装置22によって合金系磁性材料のターゲット33を蒸着して非磁性絶縁体の被処理テープ30の表面に前記合金系磁性材料の薄膜を形成し、続いて酸素分圧0.001以上の酸素を含む不活性ガス雰囲気とした酸化膜形成室3中で、前記磁性膜形成工程を経た被処理テープ30の表面に前記合金系磁性材料のターゲット34を蒸着して前記合金系磁性材料の酸化物からなる薄膜を形成する。これによって非磁性絶縁体テープの表面に、合金系磁性材料の薄膜と前記合金系磁性材料の酸化膜とを交互に複数層積層して形成する。ターゲット材が1種類ですむので管理が容易であり経済的である。
請求項（抜粋）：
非磁性絶縁体テープの表面に、合金系磁性材料の薄膜と前記合金系磁性材料の酸化膜とを交互に複数層積層して形成したことを特徴とする磁性多層膜。
IPC (3件)：
H01F 41/20
, C23C 14/08
, H05K 9/00
H01F 41/20
, C23C 14/08 M
, H05K 9/00 K
