特許

J-GLOBAL ID：200903061638022499

感光性ポリイミド前駆体組成物

発明者： 江口 益市 ,  浅野 昌也
出願人/特許権者： 東レ株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-090129
公開番号（公開出願番号）：特開平6-301209
出願日： 1993年04月16日
公開日（公表日）： 1994年10月28日
要約：

【要約】【構成】本発明は、ポリイミド前駆体,エチレン性不飽和二重結合を含有しない、N無置換アミド化合物、N一置換アミド化合物、ウレタン化合物およびウレア化合物の群から選ばれた少なくとも一種の化合物,光反応性モノマ,および、光開始剤および/または増感剤を含有することを特徴とする感光性ポリイミド前駆体組成物に関する。【効果】本発明にかかる組成物は、ポジ型の感光性ポリイミド前駆体として優れた性能を示すという予想外の効果を得ることができたものである。本発明におけるポジ型の感光性ポリイミド前駆体組成物は容易に製造でき、かつ現像、キュアすることにより、性能が優れたポジ型のポリイミド被膜を得ることができる。

請求項（抜粋）：

(a)一般式(1)で表される構造単位を主成分とするポリマ(A)、【化1】(ただし、式中R1 は少なくとも2個の炭素原子を有する3価または4価の有機基、R2 は少なくとも2個の炭素原子を有する2価の有機基、R3 は水素、アルカリ金属イオン、アンモニウムイオンまたは炭素数1〜30の有機基を表す。nは1または2である。)(b)エチレン性不飽和二重結合を含有しない、N無置換アミド化合物、N一置換アミド化合物、ウレタン化合物およびウレア化合物の群から選ばれた少なくとも一種の化合物、(c)光反応性モノマ、および(d)光開始剤および/または増感剤を含有することを特徴とする感光性ポリイミド前駆体組成物。

IPC (7件)：

G03F 7/039 501 ,  C08F 2/44 MCS ,  C08F 2/48 MDH ,  C08K 5/16 ,  C08L 79/08 LRB ,  G03F 7/027 514 ,  H01L 21/027