特許
J-GLOBAL ID：200903061646108793

モールド、モールドを有する装置、パターン転写装置、及びパターン形成方法

発明者：
関 淳一

関 淳一 について

, 
末平 信人

末平 信人 について

, 
真島 正男

真島 正男 について


出願人/特許権者：
キヤノン株式会社

キヤノン株式会社 について


代理人 (1件)： 長尾 達也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-156014
公開番号（公開出願番号）：特開2007-015375
出願日： 2006年06月05日
公開日（公表日）： 2007年01月25日
要約：
【課題】新規な手法によりサイズ補正をすることができるモールド及び該モールドを有する装置を提供する。【解決手段】モールドまたは該モールドを有する装置であって、凹凸パターンが形成されている第1の面1050と、該モールドの厚さ方向に関して、該第1の面と反対側にある第2の面1055とを有するモールド2000を備え、 且つ該第2の面に、あるいは該第1の面と該第2の面との間に設けられており、該凹凸パターンを該第1の面の面内方向に変形させるためのサイズ調整部材2010、を有する構成とする。【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
モールドであって、 凹凸パターンが形成されている第1の面と、 該モールドの厚さ方向に関して、該第1の面と反対側にある第2の面と、 該第2の面に、あるいは該第1の面と該第2の面との間に設けられている発熱体と、 を有することを特徴とするモールド。
IPC (5件)：
B29C 59/02 ,  H01L 21/027 ,  B81C 5/00 ,  B29C 33/02 ,  B29C 33/42
FI (5件)：
B29C59/02 B ,  H01L21/30 502D ,  B81C5/00 ,  B29C33/02 ,  B29C33/42
Fターム (24件)：
4F202AF01 ,  4F202AG05 ,  4F202AK08 ,  4F202CA19 ,  4F202CA30 ,  4F202CK12 ,  4F202CK90 ,  4F202CN01 ,  4F202CN17 ,  4F202CN21 ,  4F209AF01 ,  4F209AG05 ,  4F209AG21 ,  4F209AG28 ,  4F209AH33 ,  4F209AH73 ,  4F209AJ08 ,  4F209AK01 ,  4F209PA02 ,  4F209PB01 ,  4F209PH06 ,  4F209PN03 ,  4F209PQ12 ,  5F046BA10
引用特許：
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (6件)
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