特許
J-GLOBAL ID：200903061651593268

試料検査方法及び試料検査装置

発明者：
西 山 英 利

西 山 英 利 について


出願人/特許権者：
日本電子株式会社

日本電子株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-328959
公開番号（公開出願番号）：特開2008-145110
出願日： 2006年12月06日
公開日（公表日）： 2008年06月26日
要約：
【課題】 膜を介して試料に電子線等の一次線を照射して試料検査を行う際に、該一次線の膜への照射による膜の損傷を検知し、これにより圧力差による膜の破壊を防止することのできる試料検査方法及び試料検査装置を提供する。【解決手段】 膜4を介して試料520に一次線507を照射する手段501と、該一次線507の照射に応じて該試料520から発生する二次的信号を検出する信号検出手段504とを有する試料検査装置において、該一次線507の照射に応じて得られる該膜4の情報を検出する情報検出手段504と、検出された該膜の情報をモニタするモニタ手段522とを備える。【選択図】図5
請求項（抜粋）：
膜を介して試料に一次線を照射し、これに応じて該試料から発生する二次的信号を検出して該試料の検査を行う試料検査方法において、該一次線の照射に応じて得られる該膜の情報を検出し、これにより検出された該膜の情報をモニタすることを特徴とする試料検査方法。
IPC (4件)：
G01N 23/225 ,  H01J 37/28 ,  H01J 37/20 ,  H01J 37/16
FI (4件)：
G01N23/225 ,  H01J37/28 B ,  H01J37/20 Z ,  H01J37/16
Fターム (18件)：
2G001AA03 ,  2G001BA07 ,  2G001BA15 ,  2G001CA03 ,  2G001DA02 ,  2G001GA06 ,  2G001HA13 ,  2G001JA11 ,  2G001JA13 ,  2G001KA03 ,  2G001LA01 ,  2G001QA01 ,  5C001AA01 ,  5C001BB07 ,  5C001CC04 ,  5C033UU03 ,  5C033UU04 ,  5C033UU10
引用特許：
出願人引用 (3件) 審査官引用 (5件)
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