特許

J-GLOBAL ID：200903061660185369

磁気記録媒体用ガラス基板の加工装置

発明者： 吉野 邦彦 ,  長島 利男 ,  尾城 利一
出願人/特許権者： 株式会社相模オプト ,  株式会社ニコン
代理人 (1件)： 大西 正悟
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-256768
公開番号（公開出願番号）：特開平11-090813
出願日： 1997年09月22日
公開日（公表日）： 1999年04月06日
要約：

【要約】【課題】 ラッピング工程での磁気記録媒体用ガラス基板の厚みを短時間で薄く仕上げることができるとともに、砥粒の損失が少ない磁気記録媒体用ガラス基板の加工装置を得る。【解決手段】 上下定盤3,4の砥石保持面3a,4aに所定間隔を有して複数のダイヤモンドペレット1が固着されている。上下のダイヤモンドペレット1において磁気記録媒体用ガラス基板と当接するラップ面1aの面積は、上下定盤3,4の砥石保持面3a,4aの面積に対してほぼ均等に50%以下となるように構成されている。そして、磁気記録媒体用ガラス基板の上面および下面に上下のダイヤモンドペレット1を摺り合わせれば、磁気記録媒体用ガラス基板の上面および下面を同時にラップ加工することができる。

請求項（抜粋）：

上側砥石保持面を有する上側砥石保持定盤と、前記上側砥石保持面上に所定間隔を有して固着された複数の上側砥石と、前記上側砥石保持面に対向する下側砥石保持面を有する下側砥石保持定盤と、前記下側砥石保持面上に所定間隔を有して固着された複数の下側砥石とを有し、磁気記録媒体用ガラス基板の上面および下面に前記上側砥石および前記下側砥石を摺り合わせて、前記磁気記録媒体用ガラス基板の上面および下面を同時にラップ加工することを特徴とする磁気記録媒体用ガラス基板の加工装置。