特許
J-GLOBAL ID：200903061662832884
相互接続を支承するパワ-構成部品
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山本 恵一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-295333
公開番号（公開出願番号）：特開2000-124472
出願日： 1999年10月18日
公開日（公表日）： 2000年04月28日
要約：
【要約】【課題】 相互接続トラックが存在する場合にパワー構成部品の降伏電圧によって生じる問題を解決すること。【解決手段】 P型壁面によって画定されたN型シリコン基板中に形成されたパワー構成部品であって、この壁面に接続された第1のP型領域を含む下側表面、第2のP型領域を含む上側表面、および基板の上で第2の領域と壁面の間に延びる導電層を有するパワー構成部品である。この構成部品は、基板中の、第2の領域の外側周縁部と壁面の内側周縁部の間のほぼ中間となる層の部分の下に形成された、ドーピング・レベルの高い第3のN型領域を含む。この第3の領域は、壁面の方向および第3の領域の方向に第3の領域の両側に延びるフィールド・プレートと接触する。
請求項（抜粋）：
第2の導電型の壁面(2)によって画定された第1の導電型のシリコン基板の領域(1)中に形成され、壁面(2)に接続された第2の導電型の第1の領域(3)を含む下側表面、および少なくとも1つの第2の導電型の第2の領域(4)を含む上側表面を有し、高電圧が第1の領域と第2の領域の間に存在する可能性が高く、第2の領域と基板の間の接合または壁面と基板の間の接合が上側表面側でこれに耐えなければならず、導電性トラック(L)が高電位となり、基板の上で第2の領域(4)と壁面(2)の間に延びる可能性が高い、高電圧構成部品であって、第2の領域の外側周縁部と壁面の内側周縁部の間のほぼ中間となるトラックの一部分の下の基板中に形成されたドーピング・レベルの高い第1の導電型の第3の領域(22)を含み、この第3の領域が、幅方向には少なくともトラック幅をほぼ横切って延び、長さ方向には第3の領域の両側、壁面の方向および第2の領域の方向に延びる、トラックから絶縁されたフィールド・プレート(21)と接触する、高電圧構成部品。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 29/91 D
, H01L 29/06
