特許
J-GLOBAL ID：200903061666017670
チップの観察装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小鍜治 明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-132139
公開番号（公開出願番号）：特開平5-326660
出願日： 1992年05月25日
公開日（公表日）： 1993年12月10日
要約：
【要約】【目的】 明るい背景の中にチップを暗く観察することと、暗い背景の中にチップを明るく観察することを選択できるチップの観察装置を提供する。【構成】 ノズル4にチップPを吸着する移載ヘッド1へ向かって光を照射する第1の光源8及び第2の光源9とを設け、且つ一方の光源8の光路に光を吸収する2つの偏光板3、10を設け、これらの光源8、9を切り替えることにより、チップPの明暗コントラストを変えるようにした。
請求項（抜粋）：
ノズルにチップを吸着する移載ヘッドへ向かって光を照射する第1の光源及び第2の光源と、前記移載ヘッドの下部に設けられた光拡散板と、この光拡散板及び前記チップに反射された光が入射するカメラとを備え、前記第1の光源の光の照射角度を、前記光拡散板及び前記チップに共に照射される角度に設定するとともに、この光の光路に光を吸収する第1の偏光板と第2の偏光板を配設することにより、前記光拡散板に反射された光が前記カメラに入射しないようにし、また前記第2の光源の光の照射角度を、前記光拡散板のみに光が照射され且つ前記チップには照射されない角度としたことを特徴とするチップの観察装置。
IPC (5件)：
H01L 21/66
, B23P 21/00 305
, G01B 11/00
, G02B 27/28
, H05K 13/04
