特許

J-GLOBAL ID：200903061673829001

光素子アレイの製造方法

発明者： 古山 英人
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (8件)： 三好 秀和 ,  三好 保男 ,  岩▲崎▼ 幸邦 ,  川又 澄雄 ,  中村 友之 ,  伊藤 正和 ,  高橋 俊一 ,  高松 俊雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-372903
公開番号（公開出願番号）：特開2004-207388
出願日： 2002年12月24日
公開日（公表日）： 2004年07月22日
要約：

【課題】光素子の材料効率を高めつつ、光素子アレイの配列誤差を根本的に解消しうる光素子アレイの製造方法を提供する。【解決手段】光素子アレイに用いる薄膜片を半完成品状態で転写基板上に装着し、転写基板上で各薄膜片に対して光素子光軸規定加工を行う。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

能動層を含む積層体からなる光素子を配列してなる光素子アレイの製造方法であって、前記能動層を含む積層体薄膜を複数の薄膜片に分割する工程と、該複数の薄膜片を第1の基板上の概略配列位置に配列装着する工程と、しかる後、前記第1の基板上で前記光素子の能動領域を所定配列位置に規定するための能動領域規定加工を前記薄膜片に施す工程とを有してなることを特徴とする光素子アレイの製造方法。

IPC (2件)：

H01S5/42 ,  H01L31/10

FI (2件)：

H01S5/42 ,  H01L31/10 A

Fターム (20件)：

5F049MA04 ,  5F049MA07 ,  5F049PA10 ,  5F049PA14 ,  5F049RA04 ,  5F049SZ20 ,  5F049TA14 ,  5F073AA26 ,  5F073AA65 ,  5F073AA74 ,  5F073AB04 ,  5F073AB17 ,  5F073AB28 ,  5F073BA09 ,  5F073CA04 ,  5F073CB19 ,  5F073DA14 ,  5F073DA22 ,  5F073DA24 ,  5F073DA35