特許

J-GLOBAL ID：200903061682732355

静電容量式加速度センサ

発明者： 半沢 恵二 ,  松倉 哲夫 ,  鈴木 政善
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所 ,  日立オートモテイブエンジニアリング株式会社
代理人 (1件)： 小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-228317
公開番号（公開出願番号）：特開平6-074968
出願日： 1992年08月27日
公開日（公表日）： 1994年03月18日
要約：

【要約】【構成】本発明ではセンサ内部において、静電気力を用い初期的に可動電極を変位させた状態で使用するように構成したものである。また、自己診断結果を出力する端子を別端子となるよう構成したものである。【効果】本発明によれば、、センサの動作時に何らかの故障や特性劣化が生じた場合には直ちに自己診断機能により、システムのフェールセーフ機能を動作させることが可能となる。また、自己診断の誤動作による誤った出力電圧を発生することを確実に防止できる。

請求項（抜粋）：

加速度に対して変位する可動電極と、前記可動電極を介在させた状態で対向配置される少なくとも一対の固定電極とを有し、前記可動電極が基準位置より変位したときには、その変位を前記可動電極と前記固定電極の静電容量の変化よりとらえて、加速度を検出する静電容量式加速度センサにおいて、強制的に可動電極に変位を与える手段を有することを特徴とする静電容量式加速度センサ。

IPC (2件)：

G01P 15/125 ,  G01P 21/00