特許
J-GLOBAL ID：200903061691584571
硬質磁性膜構造体と、それを用いた磁気抵抗効果素子、磁気ヘッド、磁気記録再生ヘッド、磁気記録媒体および磁気記憶装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
須山 佐一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-282617
公開番号（公開出願番号）：特開平10-154619
出願日： 1997年09月30日
公開日（公表日）： 1998年06月09日
要約：
【要約】【課題】 厚い下地膜などを適用することなく、Coを構成元素として含む硬質磁性膜の保磁力Hc 、残留磁化Mr 、飽和磁化Ms 、角形比Sなどの磁気特性を向上させる。特に、bi-crystal構造の再現性を高める。【解決手段】 Co系硬質磁性膜17の下地膜18は、表面層12として酸化物層や窒化物層などを有する基板11の主表面上に形成されたCr膜などの結晶性金属下地膜16と、表面層12と結晶性金属下地膜16との間に生成され、表面層12の構成元素と結晶性金属下地膜16の構成元素とを含む反応性アモルファス層13を有する反応性下地膜(ミキシング層)15とを具備する。Co系硬質磁性膜17は、結晶性金属下地膜16上に形成され、例えばbi-crystal構造を有する。Co系硬質磁性膜17は、磁気抵抗効果素子のバイアス磁界印加膜や磁気記録媒体の記録層などに適用される。
請求項（抜粋）：
基板と、前記基板の主表面上に形成された結晶性金属下地膜と、前記基板と前記結晶性金属下地膜との間に形成されたアモルファス層と、前記結晶性金属下地膜上に形成され、かつCoを構成元素として含むと共に、bi-crystal構造を有する硬質磁性膜とを具備することを特徴とする硬質磁性膜構造体。
IPC (4件)：
H01F 10/16
, G11B 5/39
, H01L 43/08
, H01L 43/10
H01F 10/16
, G11B 5/39
, H01L 43/08 B
, H01L 43/10
