特許

J-GLOBAL ID：200903061692034737

光学部材の製造方法、光学部材及びその光学部材を用いた投影露光装置

発明者： 柴野 秀史
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-173453
公開番号（公開出願番号）：特開平11-020034
出願日： 1997年06月30日
公開日（公表日）： 1999年01月26日
要約：

【要約】【課題】 光学特性に影響を及ぼさず、極薄で低損失、かつ、均一な汚染防止膜が形成された光学部材、光学部材の製造方法、及びその光学部材を適用した投影露光装置を提供する。【解決手段】 基板上に、240nm〜500nmの波長領域用の光学薄膜を形成して光学部材を作製する工程と、前記光学部材を光洗浄する工程と、前記光洗浄を行った光学部材上に、気相処理により、一端にアルコキシシリル基又はハロゲン化シリル基を有し、他端にフッ化炭素基を有するシラン系化合物の単分子膜を均一に形成する工程と、を具備する240nm〜500nmの波長領域の高出力レーザ又は高出力ランプ用光学部材の製造方法。

請求項（抜粋）：

基板上に、240nm〜500nmの波長領域用の光学薄膜を形成して光学部材を作製する工程と、前記光学部材を光洗浄する工程と、前記光洗浄を行った光学部材上に、気相処理により、一端にアルコキシシリル基又はハロゲン化シリル基を有し、他端にフッ化炭素基を有するシラン系化合物の単分子膜を均一に形成する工程と、を具備する240nm〜500nmの波長領域の高出力レーザ又は高出力ランプ用光学部材の製造方法。

IPC (4件)：

B29D 11/00 ,  G02B 1/10 ,  G03F 7/20 505 ,  H01L 21/027

FI (4件)：

B29D 11/00 ,  G03F 7/20 505 ,  G02B 1/10 Z ,  H01L 21/30 515 D