特許

J-GLOBAL ID：200903061698152030

複合酸化物膜

発明者： 中山 尚美 ,  西野 俊夫 ,  辻 清治 ,  林 政克 ,  山田 順子 ,  藤島 正之
出願人/特許権者： 三田工業株式会社
代理人 (1件)： 亀井 弘勝 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-337873
公開番号（公開出願番号）：特開平9-157019
出願日： 1995年11月30日
公開日（公表日）： 1997年06月17日
要約：

【要約】【課題】 厚膜で電気特性などにも優れ、しかも効率よくかつ簡単に製造できる複合酸化物膜を提供すること。【解決手段】 基板上に複合酸化物の粉末堆積層を形成し、ついで前記複合酸化物と同一または相異なる複合酸化物の構成元素を含むアルカリ水溶液を用いて水熱処理を行いて得られた厚さが1μm以上の複合酸化物膜である。

請求項（抜粋）：

基板上に形成された複合酸化物膜であって、厚さが1μm以上で、かつ基板と接する最下部から最表面までの組成が均一であることを特徴とする複合酸化物膜。

IPC (4件)：

C04B 35/49 ,  C01G 25/00 ,  H01L 41/187 ,  H01L 41/24

FI (4件)：

C04B 35/49 A ,  C01G 25/00 ,  H01L 41/18 101 B ,  H01L 41/22 A