特許

J-GLOBAL ID：200903061700438427

インクジェットプリントヘッド用アクチュエータの熱処理方法およびインクジェットプリントヘッドの製造方法

発明者： 奥村 資紀 ,  和田 高一 ,  古田 忠男 ,  矢野 信介 ,  山田 智裕 ,  高橋 伸夫
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社 ,  日本碍子株式会社
代理人 (1件)： 渡邉 一平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-315267
公開番号（公開出願番号）：特開平11-147318
出願日： 1997年11月17日
公開日（公表日）： 1999年06月02日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】 強固に接合し耐液性が向上したインクジェットプリントヘッドを製造する。【解決手段】 複数の窓部28が形成されたスペーサプレート25と、スペーサプレート25の一方の側に重ね合わされて窓部28を覆蓋する閉塞プレート23と、スペーサプレート25の他方の側に重ね合わされて窓部28を覆蓋する接続プレート24とを、それぞれセラミックグリーンシートにて積層形成し、一体焼成してインクポンプ部29を構成するとともに、閉塞プレート23の外面上に電極31、33および圧電/電歪層32からなる圧電/電歪作動部22を構成してなるアクチュエータ20を作製する。その後、アクチュエータ20から保持用の粘着性フィルムをはがし、アクチュエータ20を熱処理する。アクチュエータ20に対し、複数のノズル孔12が設けられたインクノズル部材11を重ね合わせて接合する。

請求項（抜粋）：

複数の窓部が形成されたスペーサプレートと、該スペーサプレートの一方の側に重ね合わされて前記窓部を覆蓋する閉塞プレートと、該スペーサプレートの他方の側に重ね合わされて前記窓部を覆蓋する接続プレートとを、それぞれセラミックグリーンシートにて積層形成し、一体焼成してインクポンプ部を構成するとともに、前記閉塞プレートの外面上に電極および圧電/電歪層からなる圧電/電歪作動部を構成してなるアクチュエータを作製した後、該アクチュエータを保持用の粘着性フィルムに貼着して、必要により所定の検査もしくは必要により所定の形状への切断に付した後、該アクチュエータから保持用の粘着性フィルムをはがし、次いで、該アクチュエータを熱処理することを特徴とするインクジェットプリントヘッド用アクチュエータの熱処理方法。

IPC (4件)：

B41J 2/16 ,  B41J 2/045 ,  B41J 2/055 ,  H01L 41/09

FI (3件)：

B41J 3/04 103 H ,  B41J 3/04 103 A ,  H01L 41/08 C

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 特開昭64-089415