特許
J-GLOBAL ID:200903061702135995
外部共振器型レーザ装置
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
加藤 一男
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平3-142476
公開番号(公開出願番号):特開平5-206580
出願日: 1991年05月17日
公開日(公表日): 1993年08月13日
要約:
【要約】【目的】 半導体レーザへの光帰還量を波長に合わせて制御することで波長によらず出力パワーを安定化できる外部共振器型レーザ装置を提供する。【構成】 外部共振器型レーザ装置は、半導体レーザ1、結合レンズ2,3、ブレーズドグレーティング4、回転ステージ5、無反射コーティング6、LDドライバ7、コントローラ8及び光帰還部の光路中に挿入された可変NDフィルタ9からなり、コントローラ8がグレーティング回転角度及び可変NDフィルタ9を制御するように構成される。コントローラ8が、回転ステージ5の回転を調節すると共に可変フィルタ9の回転を制御することで、半導体レーザ1への光帰還量が波長に合わせて調整されるので、波長によらず一定の出力パワーを得ることができる。
請求項(抜粋):
半導体レーザと、外部設置されたグレーティング及び結合レンズから構成される共振器とを有する外部共振器型レーザ装置において、前記共振器によって前記半導体レーザへ光帰還する光の波長を制御する波長制御手段と、該光帰還の光量を波長によって制御する光帰還量制御手段とを備えたことを特徴とする外部共振器型レーザ装置。
IPC (3件):
H01S 3/18
, H01S 3/1055
, H01S 3/106
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