特許

J-GLOBAL ID：200903061707533336

プラズマ損傷評価装置及びプラズマ損傷評価方法

発明者： 彦坂 幸信 ,  長谷川 明広 ,  橋本 浩一
出願人/特許権者： 富士通株式会社
代理人 (1件)： 岡本 啓三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-059467
公開番号（公開出願番号）：特開平9-252038
出願日： 1996年03月15日
公開日（公表日）： 1997年09月22日
要約：

【要約】【課題】プラズマ処理においてプラズマによる素子損傷の程度をモニタするプラズマ損傷評価装置に関し、構造が簡単で、より迅速にプラズマ損傷を評価する。【解決手段】互いに絶縁して形成され、プラズマ中の電子及びイオンを収集する第1及び第2の電極103,104と、前記第1の電極103と前記第2の電極104の間に流れる電流を検出する手段120a,120b又は発生する電圧を検出する手段とを有する。

請求項（抜粋）：

互いに絶縁して形成され、プラズマ中の電子及びイオンを収集する第1及び第2の電極と、前記第1の電極と前記第2の電極の間に流れる電流を検出する手段又は発生する電圧を検出する手段とを有することを特徴とするプラズマ損傷評価装置。

IPC (5件)：

H01L 21/66 ,  G01N 27/00 ,  H01L 21/203 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/3065

FI (5件)：

H01L 21/66 Z ,  G01N 27/00 L ,  H01L 21/203 S ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/302 B