特許

J-GLOBAL ID：200903061708205332

金属窒化物コーティングされた基材

発明者： シャオ,ユーミン ,  タン,ベン ジット ,  スイブ,スティーブン ローレンス ,  ガラッソ,フランシス エス.
出願人/特許権者： ユナイテッド テクノロジーズ コーポレイション
代理人 (1件)： 志賀 富士弥 (外1名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-514481
公開番号（公開出願番号）：特表平8-504888
出願日： 1993年12月14日
公開日（公表日）： 1996年05月28日
要約：

【要約】金属窒化物コーティングされた基材の製造方法であって、Ti、Zr、Alの各酸化物あるいはゾルゲル法により得られるAl、Ti、Zrの各水酸化物によりコーティングされる方法である。コーティングされた基材は、少なくとも850°Cの反応温度に加熱され、窒素源と炭素源とを含有する反応混合物ガスと接触される。反応混合物ガス中の炭素に対する窒素のモル比は少なくとも約15である。コーティングされた基材は、ゾルゲル法により得られたコーティングが金属窒化物コーティングに転化するに十分な時間、反応温度に保たれる。

請求項（抜粋）：

AlNコーティングされた基材の製造方法であって、 (a) ゾルゲル法により得られたアルミニウム酸化物またはアルミニウム水酸化物を基材にコーティングするステップと、 (b) 前記コーティングされた基材を、反応に対して不活性な雰囲気下で少なくとも約850°Cに加熱するステップと、 (c) 前記加熱した、コーティングされた基材を、窒素源および炭素源を含有して炭素に対する窒素のモル比が少なくとも約15である反応混合物ガスと接触させるステップと、 (d) 前記コーティングされた基材を、前記ゾルゲル法によるコーティングがAlNコーティングに転化するに十分な時間、反応温度に保つステップと、を有することを特徴とする方法。

IPC (4件)：

C23C 24/08 ,  C04B 41/87 ,  C23C 18/12 ,  C23C 28/04