特許
J-GLOBAL ID：200903061708644263
プラズマ生成装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-125668
公開番号（公開出願番号）：特開平6-333848
出願日： 1993年05月27日
公開日（公表日）： 1994年12月02日
要約：
【要約】【構成】プラズマ保持容器7,7aの一部をマイクロ波遮断壁12で覆う。マイクロ波遮断壁と外部容器10の間がマイクロ波の通路になるように間隙15を設け、マイクロ波発生源8で発生したマイクロ波をプラズマ保持容器上面7とプラズマ保持容器側面7aから入射させる。【効果】プラズマ密度分布の制御と高密度化ができる。
請求項（抜粋）：
プラズマ発生源と、前記プラズマ発生源で発生したプラズマを保持するプラズマ保持容器と、マイクロ波発生源と、前記プラズマ保持容器を囲み前記マイクロ波発生源で発生したマイクロ波を内部に封じ込める外部容器とを備えたプラズマ生成装置において、前記プラズマ保持容器の一部をマイクロ波遮断壁で覆い、前記マイクロ波遮断壁の位置により前記プラズマ保持容器の内部のプラズマ分布状態を制御する手段を有することを特徴とするプラズマ生成装置。
IPC (3件)：
H01L 21/205
, H01L 21/302
, H05H 1/46
