特許
J-GLOBAL ID：200903061709059682
基板搬送装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
吉田 茂明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-264305
公開番号（公開出願番号）：特開平7-099225
出願日： 1993年09月27日
公開日（公表日）： 1995年04月11日
要約：
【要約】【目的】 低コストで、しかも小型で、基板をほぼ水平な状態で単位処理部間を搬送することができる基板搬送装置を提供する。【構成】 回動機構170では、摺動ブロック162a,162bと、レール163a,163bとが、それぞれ湾曲形状に仕上げられており、摺動ブロック162a,162bがそれぞれレール163a,163bを摺動し、その結果、ハンド150a,150bが基板載置に伴う撓み方向(下方向)と逆の方向に傾くように回動する。したがって、例えばハンド150a,150bがそれぞれ上,下方向に移動して開成状態となったときに、ハンド150aの先端部が上方向に角度θだけ傾き、基板の自重による撓みと補正して、ハンド150aをほぼ水平な状態に保つ。
請求項（抜粋）：
基板をほぼ水平な状態で片持ち支持しながら、複数の単位処理部間に搬送する基板搬送装置であって、前記基板が載置される基板載置手段と、前記単位処理部方向に進出した第1の位置と、前記単位処理部から後退した第2の位置との間で前記基板載置手段を移動させる駆動手段と、前記基板を片持ち支持する支持部回りに前記基板載置手段を回動させる回動手段とを備え、前記回動手段は、前記基板載置手段に前記基板を載置するとき、基板載置に伴う前記基板載置手段の撓み量に応じて、その撓み方向と逆の方向に、前記基板載置手段を前記支持部回りに回動させることを特徴とする基板搬送装置。
IPC (3件)：
H01L 21/68
, B65G 49/07
, G02F 1/13 101
