特許
J-GLOBAL ID：200903061709686130
エアスピンドル
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
前田 弘 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-036736
公開番号（公開出願番号）：特開平7-243445
出願日： 1994年03月08日
公開日（公表日）： 1995年09月19日
要約：
【要約】【目的】 エアスピンドル全体において発塵がなく、高い清浄度が要求される、いわゆる、いわゆるクリーンルームにおいても使用可能である。【構成】 負圧通路43及び排気通路33,46を通じて、エア軸受3へ供給した空気の排気、第1及び第2防塵室32,42の排気を行う。よって、アースパッド36やモータ2での発塵を排気と一緒に排出することができ、エアスピンドル1そのものは全体に亘って発塵しなくなる。エアスピンドル1内より外部へ直接排気(空気)が流出することがなくなり、いわゆるクリーンルーム内での使用も可能となる。
請求項（抜粋）：
ハウジングの中空部に回転軸が挿入され、該回転軸がエア軸受にて支承され、上記回転軸の反出力端部にアースパッドが接触せしめられているエアスピンドルであって、上記回転軸の反出力端側に、上記ハウジングの側端面と第1空間部を存して第1防塵カバーが取付けられ、上記第1空間部が外部への排気通路に連通されていることを特徴とするエアスピンドル。
引用特許：
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