加速度センサ

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：清水久義 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-038900
公開番号（公開出願番号）：特開平8-233847
出願日： 1995年02月27日
公開日（公表日）： 1996年09月13日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】周端部が固着された可動基板におもりが設けられ、該おもりに加速度が作用したときの可動基板の変形に基いて加速度を検出するものとなされた加速度センサにおいて、おもりの過度の変位を規制するストッパとおもりとの隙間調整を高精度にしかも容易に行えるようにする。【構成】おもり20の底面または該底面に対する対向壁30のいずれか一方に凹所21が設けられるとともに、他方には突出状のストッパ40が設けられ、ストッパの先端のテーパ部41が凹所21に非接触状態に嵌まり込んでいる。

請求項（抜粋）：

周端部が固着された可動基板(2)におもり(20)(20 ́)が設けられ、該おもりに加速度が作用したときの可動基板(2)の変形に基いて加速度を検出するものとなされた加速度センサにおいて、前記おもり(20)(20 ́)の底面または該底面に対する対向壁(30)(30 ́)のいずれか一方に凹所(21)(32)が設けられるとともに、他方には突出状のストッパ(40)(22)が設けられ、該ストッパの先端部が前記凹所に非接触状態に嵌まり込んでいることを特徴とする加速度センサ。

IPC (3件)：

G01P 15/08 , G01D 11/16 , G01P 15/125

FI (3件)：

G01P 15/08 Z , G01D 11/16 S , G01P 15/125

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