特許
J-GLOBAL ID：200903061711473666
単結晶棒引上育成制御装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松本 眞吉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-237159
公開番号（公開出願番号）：特開平5-097572
出願日： 1991年08月24日
公開日（公表日）： 1993年04月20日
要約：
【要約】【目的】本発明は、単結晶棒を自動モードで育成中に商用電源が停電しても、停電復帰後に適切な単結晶棒育成制御を行えるようにすることを目的とする。【構成】無停電電源装置を介して電源電圧を制御装置に供給する。この制御装置は、停電時間tがt≦t<SB>1 </SB>(1秒)のとき、停電復帰時において、制御出力を停電検出時の制御出力と同一にして自動運転モードを継続し(84、85)、t<SB>1 </SB><t≦t<SB>2 </SB>(5秒)のとき、停電復帰時において、制御出力を停電検出時の制御出力と同一にして制御モードを手動モードに切り換え(86、87)、t<SB>2 </SB><t≦t<SB>3 </SB>(600秒)のとき、停電復帰時において、結晶育成動作を停止させ、制御モードを手動モードに切り換え(88、89)、t>t<SB>3 </SB>のとき、育成結晶を上昇させて育成結晶を融液から切り離し、坩堝を上方へ移動させる(90)。
請求項（抜粋）：
種結晶(30)を坩堝内融液(22)に漬けて引き上げることにより単結晶棒(32)を育成する単結晶棒引上育成制御装置において、無停電電源装置(62)と、単結晶育成を自動制御する自動モードと手動操作に基づいて単結晶育成を制御する手動モードとを備え、該無停電電源装置から電源電圧が供給される制御装置(70)と、商用電源が停電したことを検出する停電検出回路(64)と、停電検出後停電復帰時までの停電時間を計測する停電時間計測手段(70、80〜83)とを有し、該制御装置(70)は、停電検出前が自動運転モードの場合には、計測された停電時間が設定時間t1 以下であれば、停電復帰時において、制御出力を停電検出時の制御出力と同一にし、自動運転モードを継続することを特徴とする単結晶棒引上育成制御装置。
引用特許：
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