特許
J-GLOBAL ID:200903061712696260

角速度センサおよびこれを用いた角速度検出装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 志村 浩
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-213508
公開番号(公開出願番号):特開2000-028367
出願日: 1998年07月13日
公開日(公表日): 2000年01月28日
要約:
【要約】【課題】 構造が単純な多軸角速度センサを実現する。【解決手段】 磁石260上に支持部材250、台座240、板状構造体230を配置する。板状構造体230は、中央部231、可撓部232、周囲部233からなり、周囲部233は台座240上に固定される。可撓部232は可撓性を有し、中央部231はXYZ軸方向に移動可能な状態で懸架される。磁気ヘッド251,221間に、Z軸方向を向いた磁束が形成される。中央部231の上面(XY平面)には、X方向およびY方向を向いた導電路が形成される。X方向導電路に電流を流すと、Y方向にローレンツ力が作用し、中央部231がY軸方向に運動する。このとき、Z軸まわりの角速度ωzが作用すると、X軸方向にコリオリ力Fxが作用し、中央部231はX軸方向に変位し、Y方向導電路にωzに応じた起電力が発生する。
請求項(抜粋):
互いに直交する第1の軸、第2の軸、第3の軸によって定義される三次元座標系において、少なくとも前記第1の軸まわりの角速度を検出する角速度センサであって、前記三次元座標系の空間内で運動可能な重錘体と、前記重錘体を収容する装置筐体と、前記重錘体を前記装置筐体に対して、所定の自由度をもって運動可能となるように接続する接続部材と、前記重錘体上に形成された励振用導電路および検出用導電路と、前記励振用導電路および前記検出用導電路が位置する空間に、前記励振用導電路および前記検出用導電路のいずれに対しても磁束が平行にはならないような磁界を発生させる磁界発生手段と、を備え、前記励振用導電路に電流を供給した場合に、この電流と前記磁界との相互作用に基くローレンツ力によって前記重錘体が前記第2の軸方向に運動するように前記励振用導電路が配置され、前記第1の軸まわりの角速度と前記第2の軸方向の運動とに基づいて前記第3の軸方向に作用するコリオリ力によって、前記重錘体が前記第3の軸方向に変位したことを、前記検出用導電路に発生する起電力に基づいて検出することができるように前記検出用導電路が配置されていることを特徴とする角速度センサ。
IPC (3件):
G01C 19/56 ,  G01P 9/04 ,  G01P 15/13
FI (3件):
G01C 19/56 ,  G01P 9/04 ,  G01P 15/13
Fターム (7件):
2F105AA10 ,  2F105BB12 ,  2F105BB15 ,  2F105CC04 ,  2F105CD01 ,  2F105CD07 ,  2F105CD13
引用特許:
審査官引用 (11件)
  • 慣性センサー
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平4-049519   出願人:株式会社東芝
  • 特開平1-123117
  • 複合センサ
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平8-159047   出願人:日本テキサス・インスツルメンツ株式会社
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