特許
J-GLOBAL ID：200903061720639569
X線全反射鏡及びその作製方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
田北 嵩晴
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-350765
公開番号（公開出願番号）：特開平5-164900
出願日： 1991年12月12日
公開日（公表日）： 1993年06月29日
要約：
【要約】【目的】 任意の表面形状を有するX線全反射鏡を作製すること。【構成】 蒸着基板上に膜厚が蒸着基板上の位置の座標の関数となるような蒸着薄膜2を蒸着させ、所望の表面形状を有する薄膜を作成し、その表面をX線全反射鏡として使用する。【効果】 従来法と比較して、?@任意の複雑な表面形状を有する反射面を作成することが可能である。?A反射面の形状精度が良い。?B製造コストが安価である。等の利点がある。
請求項（抜粋）：
任意の表面形状を有する基板を蒸着基板とし、この蒸着基板の表面形状を予め計測した後、前記蒸着基板とターゲットとの間に、予め定めた形状の開口部を有するマスクを設けて、前記蒸着膜と前記マスクの相対的な位置を蒸着中に変化させ、前記蒸着薄膜の膜厚が蒸着基板上の位置の座標の関数となるような薄膜を蒸着させ、所望の表面形状の蒸着膜を形成させることを特徴とするX線全反射鏡の作成方法。
IPC (2件)：
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