特許
J-GLOBAL ID:200903061721715471
遮光性黒色レジスト組成物
発明者:
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出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2003-119626
公開番号(公開出願番号):特開2004-325734
出願日: 2003年04月24日
公開日(公表日): 2004年11月18日
要約:
【課題】高感度で且つ保存安定性に優れた遮光性黒色レジスト組成物を提供すること。【解決手段】バインダ樹脂、エチレン性不飽和二重結合を分子内に少なくとも1個有する化合物、光重合開始剤、黒色顔料、溶剤、及びチオール基に対してα位および/またはβ位の炭素で分岐した構造を少なくとも一つ有するチオール化合物を含有すること。チオール基に対してα位および/またはβ位の置換基の少なくとも一つがアルキル基であること。チオール化合物が、明細書に記載化学式(1)に表わされる部分構造を有するチオール化合物であること。【選択図】なし
請求項(抜粋):
バインダ樹脂、エチレン性不飽和二重結合を分子内に少なくとも1個有する化合物、光重合開始剤、黒色顔料、溶剤、及びチオール基に対してα位および/またはβ位の炭素で分岐した構造を少なくとも一つ有するチオール化合物を含有することを特徴とする遮光性黒色レジスト組成物。
IPC (2件):
FI (3件):
G03F7/004 501
, G03F7/004 505
, G02B5/20 101
Fターム (22件):
2H025AA01
, 2H025AA11
, 2H025AB13
, 2H025AC01
, 2H025AD01
, 2H025BC13
, 2H025BC42
, 2H025CA00
, 2H025CB13
, 2H025CB14
, 2H025CB43
, 2H025CB45
, 2H025CC03
, 2H025CC12
, 2H025CC20
, 2H025FA17
, 2H048BA11
, 2H048BA45
, 2H048BA47
, 2H048BA48
, 2H048BB24
, 2H048BB42
引用特許:
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