特許
J-GLOBAL ID：200903061724807644
ディスク形磁気記憶媒体の成膜装置
発明者：
,
,
,
,
,
出願人/特許権者：
,
代理人 (1件)：
秋本 正実
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-311728
公開番号（公開出願番号）：特開平6-162499
出願日： 1992年11月20日
公開日（公表日）： 1994年06月10日
要約：
【要約】【目的】 ディスク形磁気記憶媒体の成膜装置において、温度分布の均一なディスク基板加熱をおこなえるようにさせることにある。【構成】 加熱室がこれに搬入されるディスク基板の両側にヒータユニットを具備し、一方のユニットのヒータが他方のユニットのそれにたいして交差して配置され、あるいは一方のユニットのヒータが他方のユニットのヒータの外側に配置され、もしくは一方のユニットがこれを形成するヒータを他方のユニットのヒータのあいだに配置され、一方のヒータユニットによってディスク基板の片面を、他方のヒータユニットによってディスク基板の反対面を加熱して、温度分布が均一なディスク基板加熱をおこなわせている。
請求項（抜粋）：
真空に保持された搬送室と、内部空間を搬送室に連通させて搬送室の外部に配置された複数の処理室と、搬送室内部における各々の処理室へのディスク基板の順次移動および各々の搬送室内部へのディスク基板の出し入れをおこなう搬送機構とを含み、処理室のひとつがディスク基板を加熱させる加熱室からなっているディスク形磁気記憶媒体の成膜装置において、加熱室が搬送機構によって送り込まれるディスク基板の両側に配置されたヒータユニットを具備し、各々のヒータユニットが複数のラインヒータからなり、一方のヒータユニットのラインヒータ群が他方のヒータユニットのラインヒータ群にたいして交差して配置されていることを特徴とするディスク形磁気記憶媒体の成膜装置。
IPC (3件)：
G11B 5/84
, C23C 14/56
, G11B 5/85
