特許

J-GLOBAL ID：200903061725451894

ステージ装置及び露光装置

発明者： 田中 慶一
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 渡部 温 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-379892
公開番号（公開出願番号）：特開2003-178958
出願日： 2001年12月13日
公開日（公表日）： 2003年06月27日
要約：

【要約】【課題】 磁場の乱れが少なく、高精度なステージ位置決めができるステージ装置等を提供する。【解決手段】 スライダプレート15の図の左側面の上下には、XZ平面の断面がT字型をしたY方向に延びるコイルジョイント16が側方に向けて突設されている。コイルジョイント16の先には、可動コイル(可動子)17が設けられている。可動子17が、ヨーク12のU字の中に嵌め込まれており、Y方向駆動用のリニアモータを形成する。この上下に配置されたリニアモータの駆動力の合点は、スライダ部4の重心位置とほぼ一致している。ヨーク12の凹溝の内壁面には、永久磁石9、10がヨーク12の溝を隔てて対向するように配置されている。この図に示した永久磁石9、10は、共にS極が上方でN極が下方となるように配置されている。4つの永久磁石9、10の磁束が閉じており、周囲に漏れにくくなっている。

請求項（抜粋）：

ある方向(長手方向)に延びるガイド主軸と、該ガイド主軸に案内されて該軸長手方向にスライドするスライダと、該スライダに接続されたステージと、前記スライダを前記長手方向に駆動する駆動機構と、を具備するステージ装置であって、前記駆動機構が、前記ガイド主軸を挟んだ両側の該軸軸芯に対して対称な位置に対をなすように配置された2台のリニアモータを備えることを特徴とするステージ装置。

IPC (3件)：

H01L 21/027 ,  G03F 9/00 ,  H01L 21/68

FI (5件)：

G03F 9/00 H ,  H01L 21/68 K ,  H01L 21/30 503 A ,  H01L 21/30 541 L ,  H01L 21/30 531 A

Fターム (19件)：

5F031CA02 ,  5F031HA16 ,  5F031HA53 ,  5F031JA06 ,  5F031JA27 ,  5F031JA32 ,  5F031KA06 ,  5F031LA01 ,  5F031LA04 ,  5F031LA08 ,  5F031MA27 ,  5F031NA05 ,  5F031PA30 ,  5F046CC01 ,  5F046CC02 ,  5F046CC18 ,  5F046GA11 ,  5F046GA12 ,  5F056EA14