特許

J-GLOBAL ID：200903061730554600

気相成長装置

発明者： 香村 幸夫 ,  三上 俊宏
出願人/特許権者： 古河電気工業株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-122874
公開番号（公開出願番号）：特開平9-306849
出願日： 1996年05月17日
公開日（公表日）： 1997年11月28日
要約：

【要約】【課題】 気相成長させる薄膜の生産性が向上し、また、作業者の安全性が確保される気相成長装置を提供する。【解決手段】 反応容器32と、該反応容器32の下側に設けられ、かつ気密に保持可能な前室21と、気相成長をおこなう基板を装着する装着部23aを備え、シャフト35に支持されたサセプタ23とを有する気相成長装置であって、前記前室21は、位置検出器39と光学式位置検出器25と照明装置と、ロボット24と、制御装置とを備え、前記前室21を非酸化性雰囲気にして、該前室21内にサセプタ23を位置させ、サセプタ23の装着部23aを照明装置で照明し、位置検出器39と光学式位置検出器25で前記装着部23aを撮らえ、位置検出器39または光学式位置検出器25からの情報を制御装置に入力し、該制御装置からの出力でロボット24を操作して、前記基板をサセプタ23の装着部23aに装着し、かつ前記基板を装着部23aから取り外す。

請求項（抜粋）：

内部に原料ガスが流れる反応容器と、該反応容器の原料ガス流の下流側に設けられ、かつ気密に保持可能な前室と、気相成長をおこなう基板を装着する装着部を備え、シャフトに支持されて前記反応容器内と前室内の間を移動可能であるサセプタとを有する気相成長装置であって、前記前室は、非接触位置検出手段と、多関節ロボットと、制御装置とを備え、前記前室を非酸化性雰囲気にして、該前室内にサセプタを位置させ、サセプタの装着部を前記非接触位置検出手段で検出し、前記非接触位置検出手段からの情報を制御装置に入力し、該制御装置からの出力で多関節ロボットを操作して、前記基板をサセプタの装着部に装着し、かつ前記基板を装着部から取り外すことを特徴とする気相成長装置。

IPC (5件)：

H01L 21/205 ,  C23C 16/44 ,  C30B 29/40 502 ,  H01L 21/68 ,  C30B 25/16

FI (5件)：

H01L 21/205 ,  C23C 16/44 F ,  C30B 29/40 502 Z ,  H01L 21/68 A ,  C30B 25/16