特許
J-GLOBAL ID:200903061734345320

磁気ヘッド支持機構およびその製造方法ならびに磁気ディスク装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 筒井 大和
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平7-161270
公開番号(公開出願番号):特開平9-016932
出願日: 1995年06月27日
公開日(公表日): 1997年01月17日
要約:
【要約】【目的】 従来のステンレス製の磁気ヘッド支持機構と同じように取り扱いが簡便な一体形成された磁気ヘッド支持機構を提供する。【構成】 ジンバル3およびフランジ4を含み、磁気ヘッド素子12および磁気ヘッドスライダ11がその自由端側領域2aに支持されるビーム部2と、マウント6とが一体に形成された磁気ヘッド支持機構1において、その表面に薄膜を堆積した後、ビーム部2の一部に選択的なエッチングを施すことにより選択的な内部応力を発生する領域を形成し、磁気ヘッド支持機構1を基板から切り出すことにより、この内部応力による自発的な変形によってビーム部2に湾曲部5を形成する。
請求項(抜粋):
その自由端側に磁気ヘッドが支持されるビーム部と、前記ビーム部をアクチュエータに固定するマウントとが一体的に形成された磁気ヘッド支持機構であって、前記ビーム部の一部には内部応力による自発的な変形によって形成された湾曲部を備えていることを特徴とする磁気ヘッド支持機構。
IPC (2件):
G11B 5/60 ,  G11B 21/21
FI (2件):
G11B 5/60 P ,  G11B 21/21 C
引用特許:
審査官引用 (4件)
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