特許

J-GLOBAL ID：200903061735783143

カラー固体撮像素子及びその製造方法

発明者： 田中 順 ,  杉山 寿 ,  泉 章也 ,  濱本 辰雄 ,  久慈 卓見 ,  中野 寿夫 ,  磯田 高志
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所 ,  日立デバイスエンジニアリング株式会社
代理人 (1件)： 薄田 利幸 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-314453
公開番号（公開出願番号）：特開平5-048063
出願日： 1991年11月28日
公開日（公表日）： 1993年02月26日
要約：

【要約】【目的】カラーフィルタ層全体を平坦化し、かつカラーフィルタ層全体の膜厚を低減して分光特性に優れた高感度のカラー固体撮像素子を得ることにある。【構成】基板100上に素子平坦化膜103を設け、この平坦化膜上の受光部101に対応する領域に1色目のフィルタ106を設け、このフィルタ106に混色防止保護膜104を被覆すると共に、2色目のフィルタ形成領域の混色防止保護膜104に開口部を設けてその跡に2色目のフィルタ107を設ける。これにより、フィルタ106とフィルタ107とは平坦化膜103の同一平面上に設けられる。さらに混色防止保護膜104 ́を設けて3色目のフィルタ108を設け、最後に表面保護膜105を形成する。混色防止保護膜や表面保護膜は、高分子材料あるいは有機ケイ素系材料と酸発生剤とを含む光硬化性組成物より形成される。

請求項（抜粋）：

光電変換を行なう受光部と、前記受光部で発生した電気信号を取り出す走査部と、前記受光部及び走査部を保護するパッシベーション膜とが形成された半導体基板からなる固体撮像素子基板上に、透明材料からなる平坦化層を設け、前記平坦化層上の前記素子受光部に対応した位置に、透明材料からなる有機膜で保護されたカラーフィルタパターンを配してなるカラー固体撮像素子において、少なくとも2色のカラーフィルタパターンが同一平面上に存在し、かつ前記透明材料から成る有機膜が高分子材料もしくは有機ケイ素系材料と酸発生剤とを含む光硬化性組成物から形成されて有機保護膜を構成して成るカラー固体撮像素子。

IPC (7件)：

H01L 27/14 ,  G02B 5/20 101 ,  G03F 7/004 503 ,  G03F 7/029 ,  G03F 7/038 ,  G03F 7/075 511 ,  H04N 9/07

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平3-109768
  
• 特開昭50-151997
  
• 特開昭57-148366
  
• 特開平1-253269