内部温度測定装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：半田昌男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-115173
公開番号（公開出願番号）：特開平8-285704
出願日： 1995年04月17日
公開日（公表日）： 1996年11月01日
要約：

【要約】【目的】試料が高温であっても、その内部温度を確実に測定することができる内部温度測定装置を提供する。【構成】超音波発生用レーザー光源11から試料にレーザー光が照射されると、内部に超音波が発生する。この超音波のエコーを、超音波検出部20が、プローブ用レーザー光源12から照射したレーザー光が受けるドップラーシフトとして検出すると、超音波の伝播時間が求められる。この伝播時間は、内部の温度に依存して変化する。一方、プローブ用レーザー光源12から照射されるレーザー光のラマン散乱から、表面温度測定部30によって、スケールの温度が求められる。この温度は試料表面の温度と考えられる。試料の内部に場所による温度分布がある場合、未知のパラメータを含む特定の関数形でこの温度分布を近似できる。演算部は、上記の測定結果からその未知のパラメータを算出し、上記関数形を決定する。これにより、試料内部の温度が求められる。

請求項（抜粋）：

測定対象である試料の表面温度を測定する表面温度測定手段と、前記試料の表面にレーザー光を照射して超音波を発生させるレーザー光照射手段と、超音波検出用のプローブ光を、前記試料の表面に照射するプローブ光照射手段と、前記プローブ光が前記試料の表面で反射される際に受けるドップラーシフトを検出して光強度に変換するドップラーシフト検出手段と、前記ドップラーシフト検出手段の検出結果から、前記超音波が前記試料内を伝播する時間を算出する伝播時間算出手段と、前記表面温度測定手段によって得られた前記試料の表面温度、前記伝播時間算出手段によって得られた超音波の伝播時間、及び予め求められた前記試料の寸法から、演算によって前記試料の内部温度を算出する演算手段と、を具備することを特徴とする内部温度測定装置。

IPC (4件)：

G01K 11/24 , G01J 5/58 , G01K 5/52 , G01K 11/12

FI (4件)：

G01K 11/24 , G01J 5/58 , G01K 5/52 , G01K 11/12 C

引用特許：

審査官引用 (3件)

特開昭60-035231
特開昭59-140524
特開平3-245026

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