特許
J-GLOBAL ID：200903061737274890
センサおよびその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山川 政樹
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP1999001190
公開番号（公開出願番号）：WO1999-046570
出願日： 1999年03月11日
公開日（公表日）： 1999年09月16日
要約：
【要約】接続部材と接合されるパッド24,25を電極取出し穴4a〜4cと対向する位置に設ける。接合剤12として電極1,3の表面に対して濡れ性が低いものを用い、この接合剤12と濡れ性の高い材料でパッド24,25の表面を形成する。これにより、接続部材と電極1,3とを強固に接合でき、電極1,3の短絡を防止できる。
請求項（抜粋）：
複数個の電極取出し穴によって外部と連通するキャビティが内部に形成されたセンサ本体と、 前記キャビティ内に互いに対向して設けられた一対の電極と、 前記電極取出し穴より前記キャビティ内に挿通されかつ対応する前記電極にそれぞれ電気的に接続される複数本の接続部材と、 前記キャビティ内における前記電極取出し穴と対向する位置に設けられるとともに対応する前記接続部材と接合されかつ導電材料からなるパッドとを備え、 前記接続部材の前記パッド表面に対する濡れ性は、前記接続部材の前記電極表面に対する濡れ性よりも高いことを特徴とするセンサ。
IPC (3件)：
G01L 9/12
, G01P 15/125
, H01L 29/84
