特許

J-GLOBAL ID：200903061753496151

蒸気形状の試薬をCVD反応器に分配させるための装置および方法

発明者： カーリン.ピーター.エス ,  ガーディナー.ロビン.エー ,  バン.バスカーク.ピーター
出願人/特許権者： アドバンスド.テクノロジー.マテリアルズ.インコーポレイテッド
代理人 (1件)： 押田 良久
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-521092
公開番号（公開出願番号）：特表平8-508315
出願日： 1994年03月07日
公開日（公表日）： 1996年09月03日
要約：

【要約】液体流路(332、324、326、328)を規定するための多孔性の蒸発要素(340)をハウジング内壁表面(320)と隣接して内部に有する蒸発室ハウジング(302)を含む液体試薬蒸発および供給装置(300)を含んでなる工程システム。該システム中で空気-または水分-敏感性液体をポンピングするためにポンプ組み立て体(10)を使用することができ、ここでポンプの湿った部分が腐食または粒子生成を抑制するのに有効な低蒸気圧液体成分を有する不活性媒体および/または工程液体で覆われている。他の面では、本発明はコンシステンシー、信頼性、および操作寿命を増加させるための該蒸発器要素の定期的なフラッシュクリーニングにより化学蒸着(CVD)における使用中に原料試薬の蒸発器要素上での早期分解並びに詰まりおよび非効率的蒸発を引き起こす固体生成物を生成する原料試薬の酸化的分解による固体増加という有害な影響から原料試薬蒸発器(17)を保護するための手段および方法に関する。

請求項（抜粋）：

上部に形成された液体流路を有する取り囲んでいる内壁表面により少なくとも部分的に制限されている内容積を内部に含む蒸発室、 該蒸発室中に配置され且つ内および外壁部品表面を有する少なくとも1つの多孔性の壁を含んでなる蒸発要素であり、ここで該多孔性の壁部品がその外壁部品表面と共に上部に形成された液体流路を有する取り囲んでいる内壁表面と隣接関係で配置されているため多孔性の壁部品の内壁部品表面が蒸発室の内容積に向いているような蒸発要素、 多孔性の壁部品を蒸発可能な液体の蒸発温度に加熱するための手段、 蒸発可能な液体を蒸発可能な液体の蒸発温度に加熱された多孔性の壁部品と接触させるための液体流路に分配させて、この接触により製造される生じた蒸気を多孔性の壁部品を通して蒸発室の内容積まで通過させるための手段、および 蒸気を蒸発室の内容積から放出させるための手段、 を含んでなる、蒸発可能な液体を蒸発させるための装置。

IPC (11件)：

C23C 16/44 ,  B01J 4/02 ,  B01J 7/00 ,  C01B 21/076 ,  C01G 1/00 ,  C01G 3/00 ZAA ,  C01G 23/00 ,  C04B 38/00 303 ,  F04B 53/02 ,  F04B 53/16 ,  F23K 5/22

FI (11件)：

C23C 16/44 C ,  B01J 4/02 A ,  B01J 7/00 Z ,  C01B 21/076 Z ,  C01G 1/00 S ,  C01G 3/00 ZAA ,  C01G 23/00 ,  C04B 38/00 303 Z ,  F23K 5/22 ,  F04B 21/00 T ,  F04B 21/08 A