光学素子の評価方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-015172
公開番号（公開出願番号）：特開2000-214046
出願日： 1999年01月25日
公開日（公表日）： 2000年08月04日
要約：

【要約】【課題】本発明では、折り返しミラー等を使用することのない、球面波を使用した透過波面測定と、球面波での内部均質性の評価と、レンズホルダーとレンズの接触面の形状評価を目的とする。【解決手段】 R1面から入射した球面波は、R1面透過による屈折後、R2面にほぼ垂直に入射するという、アプラナティックレンズの特性を用い、かつ、R2面の面形状データ、アプラナティックレンズにより発生する球面収差データを補正することにより、球面波による透過波面の、折り返しミラーを使用しない評価ができるようになる。また、内部均質性に関しては、上記2データの他にR1面の面形状データを補正すればよい。ホルダーによる変形に関しては、ホールド面をR2面とすれば、アプラナティックレンズの特性から、直接計測が可能となる。

請求項（抜粋）：

干渉計より出た球面波、又は干渉計を出た後に変換された球面波を評価対象レンズに入射し、該レンズを透過した球面波を折り返し反射面によって反射させ、反射光を再び該レンズを通して干渉計に戻し、該反射光と干渉計内の参照光とを干渉させ、干渉縞の解析を行って該レンズを透過した波面を計測する透過波面計測方法であって、球面波が射出する評価対象レンズの面を前記折り返し反射面とすることを特徴とした透過波面計測方法。

IPC (5件)：

G01M 11/02 , G01B 9/02 , G01B 11/24 , G01J 9/02 , G01M 11/00

FI (5件)：

G01M 11/02 B , G01B 9/02 , G01B 11/24 M , G01J 9/02 , G01M 11/00 L

Fターム (17件)：

2F064AA09 , 2F064BB04 , 2F064DD01 , 2F064EE05 , 2F064GG47 , 2F065AA49 , 2F065AA65 , 2F065CC21 , 2F065CC22 , 2F065DD11 , 2F065EE00 , 2F065FF52 , 2F065GG04 , 2F065LL10 , 2F065PP11 , 2G086HH06 , 2G086HH07

前のページに戻る