特許

J-GLOBAL ID：200903061756241189

ウエハーケース

発明者： 巻 俊光 ,  大内田 豊 ,  金山 和太郎 ,  小島 将哉
出願人/特許権者： ミツミ電機株式会社 ,  桜井株式会社
代理人 (1件)： 伊東 忠彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-043671
公開番号（公開出願番号）：特開2000-243824
出願日： 1999年02月22日
公開日（公表日）： 2000年09月08日
要約：

【要約】【課題】 ウエハーを収納するケースを軽量、小型化する共に、環境を汚染することなく処分するこができるものとする。【解決手段】 ウエハーケース1はケース本体2と蓋体3からなり、これらは、無塵紙により形成される。したがって、ケースを軽量、小型化にするこが可能となり、また、ケースからの塵埃の発生を抑制することができる。また使用済みのケースを環境を汚染することなく処分することができる。ウエハーケースのケース本体の蓋体はめ合い部に空気の連通孔2cを形成し、蓋体を開ける際に空気が流入し易くして蓋体を開け易くしている。

請求項（抜粋）：

ウエハーを収容するウエハーケースであって、該ウエハーケースは、無塵紙により形成したウエハーを収容するケース本体及びケース本体の開口部を閉じる蓋体からなることを特徴とするウエハーケース。

IPC (3件)：

H01L 21/68 ,  B65D 85/00 ,  B65D 85/86

FI (3件)：

H01L 21/68 T ,  B65D 85/00 H ,  B65D 85/38 R

Fターム (23件)：

3E068AA33 ,  3E068AB04 ,  3E068AB05 ,  3E068CC03 ,  3E068DD40 ,  3E068DE02 ,  3E068EE22 ,  3E096BA16 ,  3E096CA02 ,  3E096CA05 ,  3E096CB01 ,  3E096CB03 ,  3E096FA03 ,  3E096FA22 ,  3E096GA07 ,  5F031CA02 ,  5F031DA12 ,  5F031EA01 ,  5F031EA12 ,  5F031MA22 ,  5F031MA23 ,  5F031MA24 ,  5F031PA26

引用特許：

審査官引用 (2件)

• ガラス乾板の包装容器
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-332339   出願人：富士写真フイルム株式会社
• 加圧容器及びその蓋部材の装着方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-078174   出願人：大日本印刷株式会社