特許

J-GLOBAL ID：200903061757012876

共焦点光スキャナ

発明者： 杉山 由美子 ,  田名網 健雄
出願人/特許権者： 横河電機株式会社
代理人 (1件)： 渡辺 正康 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-245105
公開番号（公開出願番号）：特開平8-110473
出願日： 1994年10月11日
公開日（公表日）： 1996年04月30日
要約：

【要約】【目的】 観察可能な視野が大きく、安価である共焦点光スキャナを実現する。【構成】 複数の集光手段を有する円板及び集光手段と同一パターンの複数の開孔を有する円板を同期して回転させ集光手段及び開孔を通過した光を集光して試料を走査する共焦点光スキャナにおいて、入射光を反射して試料からの戻り光を透過させる光分岐手段と、この光分岐手段の反射光が入射される集光手段を有する円板と、この集光手段を有する円板からの透過光が入射され、集光手段の焦点距離から光軸方向にずらした位置に設けられた開孔を有する円板とを設ける。

請求項（抜粋）：

複数の集光手段を有する円板及び前記集光手段と同一パターンの複数の開孔を有する円板を同期して回転させ前記集光手段及び前記開孔を通過した光を集光して試料を走査する共焦点光スキャナにおいて、入射光を反射若しくは透過して前記試料からの戻り光を透過若しくは反射させる光分岐手段と、この光分岐手段の反射光若しくは透過光が入射される集光手段を有する円板と、この集光手段を有する円板からの透過光が入射され、前記集光手段の焦点距離から光軸方向にずらした位置に設けられた開孔を有する円板とを備えたことを特徴とする共焦点光スキャナ。

IPC (2件)：

G02B 21/00 ,  G02B 26/10 105

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 特開平4-330412
  
• 共焦点用光スキヤナ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-015411   出願人：横河電機株式会社