特許

J-GLOBAL ID：200903061765190449

線材の連続蒸着装置

発明者： 川口晴彦
出願人/特許権者： ロック技研工業株式会社
代理人 (1件)： 有賀 正光
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-011627
公開番号（公開出願番号）：特開2004-225074
出願日： 2003年01月20日
公開日（公表日）： 2004年08月12日
要約：

【課題】1対のプーリ部の間を複数回往復する線材に蒸着膜を連続的に形成する蒸着装置において、線材の弛みと捩れを防止すること。【解決手段】線材40は、供給スプール121aから供給され、プーリ部20a,20bの間を複数回往復し、その往復の間に蒸着されて巻取りスプール121bに巻き取られる。フリープーリ211〜21nは、線材40の1巻回毎に独立して回転する。蒸着時の加熱により線材40が伸張し、巻回毎の伸張量が異なっても、各フリープーリは、その伸長量に対応して回転速度が変わるから、線材40の張力は均一になり、線材40が弛むことはない。また線材40は、行きと帰りで経路が異なるが、各フリープーリは、回転軸22に対して傾くことができるから、捩れることがない。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

線材を複数回巻回する1対のプーリ部及び蒸着源を備え、その線材がその1対のプーリ部の間を移動する間に前記線材に蒸着膜を形成する線材の連続蒸着装置において、前記各プーリ部は、回転軸とその回転軸に回転自在に取り付けた複数のフリープーリとからなり、その各フリープーリは前記線材の1巻回毎に独立していることを特徴とする線材の連続蒸着装置。

IPC (1件)：

C23C14/56

FI (1件)：

C23C14/56 A

Fターム (7件)：

4K029AA02 ,  4K029AA25 ,  4K029CA01 ,  4K029CA03 ,  4K029CA05 ,  4K029JA10 ,  4K029KA03