特許

J-GLOBAL ID：200903061765517430

電子顕微鏡観察用試料支持部材

発明者： 黒田 靖 ,  矢口 紀恵 ,  小池 英巳 ,  梅村 馨
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所 ,  株式会社日立サイエンスシステムズ
代理人 (1件)： 作田 康夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-301996
公開番号（公開出願番号）：特開2001-124676
出願日： 1999年10月25日
公開日（公表日）： 2001年05月11日
要約：

【要約】【課題】本発明の目的は、FIB加工で試料から、より微小な試料片を摘出し、TEM用試料に加工する際に、摘出した前記微小試料片を容易に固定、安全に取扱うことが可能な電子顕微鏡観察用試料支持部材を提供することにある。【解決手段】電子顕微鏡観察用試料支持部材の微小試料片固定部厚みを微小試料片厚さ以上にし、試料固定側の試料支持部材の両端に微小試料片以上の厚さおよび高さをもつ突起部分を設けたことにより達成される。また、前記電子顕微鏡観察用試料支持部材において、前記試料支持部材の試料片を固定する部分の凹凸を、5μm以下にすることで達成される。

請求項（抜粋）：

集束イオンビーム加工装置で試料から、より微小な試料片を摘出し、透過電子顕微鏡用試料に加工する際に、摘出した前記微小試料片を固定する支持部材において、微小試料片固定部厚みは前記微小試料片厚み以上であり、試料固定側の両端に前記微小試料片以上の厚さおよび高さをもつ突起部分を有することを特徴とする電子顕微鏡観察用試料支持部材。

IPC (2件)：

G01N 1/28 ,  G01N 1/32

FI (4件)：

G01N 1/32 B ,  G01N 1/28 W ,  G01N 1/28 F ,  G01N 1/28 G