走査型プローブ顕微鏡

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：坂上正明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-381555
公開番号（公開出願番号）：特開2002-181687
出願日： 2000年12月15日
公開日（公表日）： 2002年06月26日
要約：

【要約】【課題】カンチレバーにレーザを照射し反射光の変位を検出するいわゆる光てこ方式の検出手段を有し、第一の操作で、試料表面の凹凸形状を得て、第二の操作で、針先を第一の操作で得られた凹凸形状から一定距離離しながら、非接触状態での物理作用力情報を検出する走査型プローブ顕微鏡において、試料表面の物性情報を正しく測定する。【解決手段】第一の操作時に、カンチレバ-の加振周波数fと振幅量Aの依存曲線(Qカ-ブ)の半値幅となる周波数帯の両外側をレバ-加振周波数とすることで、カンチレバ-が減衰しにくい加振周波数領域(共振点近傍)から離し、カンチレバ-の探針が試料に接触した後の過渡振動変化の減衰を容易にし、試料表面に対する追随性を高めた。

請求項（抜粋）：

【請求項1】先端に微小な探針を有するカンチレバーとカンチレバ-のレ-ザ反射面に照射するレ-ザとレ-ザの反射光の位置を検出する光位置検出器と試料を移動させる試料移動手段とカンチレバ-を一定周期で所望の振幅量で振動させるレバ-加振手段からなり、カンチレバ-の探針が試料表面に接触したとき振幅量の減少分を光位置検出器でとらえて、減少した振幅量が一定になるように、試料移動手段の上下動作を制御することで、上下動作の操作量から試料表面の凹凸形状情報を測定する第一の操作と、次に針先を第一の操作で得られた凹凸形状から一定距離離しながら、非接触状態での物理作用力情報を検出する第二の操作を行う走査型プローブ顕微鏡において、試料表面の凹凸形状情報を測定する第一の操作時に、カンチレバ-の加振周波数と振幅量の依存曲線(Qカ-ブ)の半値幅となる周波数帯の両外側をレバ-加振周波数とし表面凹凸情報を測定し、次に、針先を第一の操作で得られた凹凸形状から一定距離離しながら、非接触状態での物理作用力情報を検出する第二の操作時にカンチレバ-の加振周波数と振幅量の依存曲線(Qカ-ブ)の共振点近傍をレバ-加振周波数とすることを特徴とする走査型プローブ顕微鏡。

IPC (5件)：

G01N 13/16 , G01B 21/30 , G01N 13/10 , G01N 13/20 , G01N 13/22

FI (5件)：

G01N 13/16 A , G01B 21/30 , G01N 13/10 D , G01N 13/20 A , G01N 13/22 A

Fターム (12件)：

2F069AA57 , 2F069AA60 , 2F069BB40 , 2F069GG04 , 2F069GG07 , 2F069GG19 , 2F069GG62 , 2F069HH04 , 2F069HH30 , 2F069KK10 , 2F069LL03 , 2F069RR09

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