特許

J-GLOBAL ID：200903061776276396

多段真空ポンプ

発明者： 田中 敬二 ,  関口 信一 ,  柏原 智 ,  福徳 優俊
出願人/特許権者： 株式会社荏原製作所
代理人 (3件)： 渡邉 勇 ,  小杉 良二 ,  廣澤 哲也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-048974
公開番号（公開出願番号）：特開2009-203945
出願日： 2008年02月29日
公開日（公表日）： 2009年09月10日
要約：

【課題】ポンプの排気性能に悪影響を与えたり、ランニングコストを増大させたりすることなく、ポンプ内部を流れるプロセスガスの流量に合わせてパージ用の不活性ガスをポンプ内部に導入して、長期間安定して稼動できるようにする。【解決手段】下流側最終段34の吸気側の圧力を検出する圧力センサ42と、下流側最終段34の吸気側にパージ用の不活性ガスを導入する不活性ガス導入配管44と、不活性ガス導入配管44内に設置された弁体46と、圧力センサ42によって検出された圧力値に応じて弁体46の開閉を制御する制御部48を有する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

下流側最終圧縮段の吸気側の圧力を検出する圧力センサと、 下流側最終圧縮段の吸気側にパージ用の不活性ガスを導入する不活性ガス導入配管と、 前記不活性ガス導入配管内に設置された弁体と、 前記圧力センサによって検出された圧力値に応じて前記弁体の開閉を制御する制御部を有することを特徴とする多段真空ポンプ。

IPC (3件)：

F04B 37/16 ,  F04C 23/00 ,  F04C 25/02

FI (4件)：

F04B37/16 A ,  F04C23/00 D ,  F04C25/02 M ,  F04B37/16 F

Fターム (12件)：

3H029AA03 ,  3H029AB06 ,  3H029BB47 ,  3H029CC12 ,  3H029CC53 ,  3H076AA21 ,  3H076BB43 ,  3H129AA03 ,  3H129AB06 ,  3H129BB47 ,  3H129CC12 ,  3H129CC53

引用特許：

出願人引用 (3件)

• 真空ポンプ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-088624   出願人：アイシン精機株式会社
• 特開平4-330388号公報
  
• 真空排気システム
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2005-167508   出願人：株式会社荏原製作所

審査官引用 (1件)

• 真空ポンプ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-088624   出願人：アイシン精機株式会社