特許
J-GLOBAL ID:200903061791514880
顕微鏡装置の自動焦点検出方法及び自動焦点検出装置
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
春日 讓
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平2-406815
公開番号(公開出願番号):特開平6-186469
出願日: 1990年12月26日
公開日(公表日): 1994年07月08日
要約:
【要約】【目的】 自動焦点検出において、ソフト的な処理を利用して合焦点位置から離れた対物レンズの周辺移動領域におけるノイズ耐量を向上し、合焦点位置の検出条件をノイズに対して強くし、正確な合焦点位置検出を行う。【構成】 対物レンズの移動に対応して生じる焦点信号に基づき合焦点位置を検出するに当り、対物レンズの周辺移動領域では1ステップ移動量を大きくするか、又は焦点信号を平均化処理をして利用するか、又は焦点信号に生じるピークにおいて合焦点位置判定条件を厳しくする。またこれらの方法をソフト的に実現する。
請求項(抜粋):
観察ステージ上の標本と対物レンズとの距離を変更するため前記対物レンズを1ステップごと移動させ、前記対物レンズの移動した各位置にて前記対物レンズで得られる前記標本の光学像を光電変換して得られる電気信号に基づき焦点信号を生成し、この焦点信号の状態に基づいて前記対物レンズの前記移動を行い且つ合焦点位置であるか否かを判定し、求められた合焦点位置に前記対物レンズを静止させる顕微鏡装置の自動焦点検出方法において、前記対物レンズの1ステップの移動量について、前記合焦点位置から離れた移動領域では前記1ステップの移動量を大きくし、前記合焦点位置に近い移動領域では1ステップの移動量を小さくしたことを特徴とする顕微鏡装置の自動焦点検出方法。
IPC (2件):
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