特許
J-GLOBAL ID：200903061801961716
ワーク表面検査方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
北村 欣一 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-302940
公開番号（公開出願番号）：特開平7-159141
出願日： 1993年12月02日
公開日（公表日）： 1995年06月23日
要約：
【要約】【目的】 ワーク表面からの反射光を受光する撮像手段を備える光学式検査装置を用い、撮像手段の画像に現われる暗部からワーク表面の不良部を検出する方法において、照射むら等による輝度の不均一性に起因した誤検知を生ずることなく不良部を正確に検出できるようにする。【構成】 画像の各画素について周辺の画素との輝度差に基づくパラメータ値、例えば輝度差の2乗値を算定する。撮像手段から取り込まれた濃淡画像に不良部に起因する暗部bに加えて輝度の不均一性に起因する暗部cが現われても、暗部bの方が輝度変化が急峻であるため、パラメータ値は暗部bの方が暗部cより大幅に大きくなる。パラメータ値の画像を二値化すると、不良部に対応する部分にのみ暗部b3が現われる。この暗部を不良部に起因する暗部として検出する。
請求項（抜粋）：
ワーク表面に向けて検出光を照射する投光手段と、ワーク表面からの反射光を受光する撮像手段とを備える光学式検査装置を用い、ワーク表面の凹凸の付いた不良部に起因して撮像手段の画像に現われる暗部を検出してワーク表面を検査する方法において、撮像手段の画像の各画素についてその周囲の画素との輝度差に基づく所定のパラメータ値を求め、このパラメータ値が大きくなる部分に位置する暗部をワーク表面の不良部に起因する暗部として検出することを特徴とするワーク表面検査方法。
IPC (3件)：
G01B 11/30
, G01N 21/88
, G06T 7/00
