特許

J-GLOBAL ID：200903061802976067

基板検査システムおよび基板検査方法

発明者： 田中 利彦
出願人/特許権者： オリンパス株式会社
代理人 (1件)： 大菅 義之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-057223
公開番号（公開出願番号）：特開2009-216401
出願日： 2008年03月07日
公開日（公表日）： 2009年09月24日
要約：

【課題】最小限の操作で基板検査装置が撮像した最新の画像データを表示させることが可能な基板検査方法および基板検査システムを提供すること。【解決手段】基板検査装置の撮像した最新の画像データを表示させるための表示指示を入力するだけで、基板検査装置を特定するための基板検査装置識別子がデータベースサーバに送信され、これを受信したデータベースサーバが、基板検査装置識別子に基づいて画像データベースを検索し、現在時刻から見て最新の画像データを基板検査装置に送信する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

複数の基板検査装置で撮像した基板の画像データをネットワーク回線で接続されたデータベースサーバに保存する基板検査システムであって、 前記基板検査装置は、前記基板を撮像する毎に撮像した画像データと前記基板検査装置を特定するための装置識別子と撮像した日時を示す撮像日時情報とを対応付けた情報として前記データベースサーバに送信し、送信された前記情報の送信の完了毎に、または、送信された前記情報の容量が前記基板検査装置の記憶部の所定の容量を超えたときに前記基板検査装置の前記記憶部の前記情報を消去する制御部を備えることを特徴とする基板検査システム。

IPC (1件)：

G01N 21/956

FI (1件)：

G01N21/956 A

Fターム (14件)：

2G051AA51 ,  2G051AB01 ,  2G051AB02 ,  2G051AB03 ,  2G051BC01 ,  2G051DA01 ,  2G051EA12 ,  2G051EA14 ,  2G051EA21 ,  2G051EA23 ,  2G051EC01 ,  2G051EC03 ,  2G051ED07 ,  2G051FA01

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 表面欠陥検査装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-213088   出願人：オリンパス光学工業株式会社